201 态度（3/5）

只是，这种提升还达不到理想的状态，等到走出实验室，扩大到中试规模，工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

这便没法大脚步的再往下走，况且，后面也有不少关隘，要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试，要做晶圆厂兼容性验证，必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接，还得做大量重复性与可靠性测试。

如此这些，最后还要建立稳定的生产工艺，保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。

“芯材走在了正确的路上。”

这是来自晶圆制造联盟的评价。

可惜，眼下的局面略显急迫。

阿美严选的压力已经施加过来，后续追加措施也隐约可见，鉴于如此形势，冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设，只要ArF出了成果，初期的成本高一些都没问题。

但是，南大光电、芯刻微材料、新阳等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。

“张总，我们的上一次测试结论已经出来了，现有工艺不适合大规模生产，现在最重要的还是找出问题，看看怎么精细调整配方中的各组分比例，不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐的说道，“不合适啊。”

张汝京一皱眉，没等反驳就听到另一家企业负责人伍彦杰的声音。