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第1593章 ASML公司现状(2/5)

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镜片是蔡司技术打底。镜片材质做到均匀,需几十年到上百年技术积淀。

同样一个镜片,不同工人去磨,光洁度相差十倍。抛光镜片的工人,祖孙三代在同一家公司的同一个职位。

另外,光刻机需要体积小,但功率高而稳定的光源。顶尖光刻机,使用波长短的极紫外光,光学系统极复杂。

三万个机械件都要可靠有顶级的镜头和光源,没极致的机械精度,也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片。两者需始终同步,误差在2纳米以下。两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多。

相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,不能刻坏了。”

而且,温湿度和空气压力变化会影响对焦。“机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器。

最好的光刻机,包含13个分系统,3万个机械件,200多个传感器,每一个都要稳定。像欧洲冠军杯决赛,任何一个人发挥失常就要输球。

这复杂的流程,听的叶风头疼,怪不得人家敢吹牛逼,就是给你们全套图纸,你们也不可能造出光刻机。

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